超高真空多功能三腔体电子束蒸镀系统
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829/次总次数
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3782/小时总时长
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10/人收藏者
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收费标准
机时1000元/小时送样详见检测项目 -
设备型号
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当前状态
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管理员
聂利富,黄家祥 -
放置地点
芯片加工中心二期3F
- 仪器信息
- 预约资源
- 检测项目
- 附件下载
- 公告
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名称
超高真空多功能三腔体电子束蒸镀系统
资产编号
18013570S
型号
规格
产地
厂家
所属品牌
出产日期
购买日期
所属单位
深圳国际量子研究院
使用性质
科研
所属分类
镀膜类
资产负责人
聂利富
联系电话
联系邮箱
放置地点
芯片加工中心二期3F
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 设备使用相关说明
主要规格&技术指标
主要用于高质量铝膜生长
主要功能及特色
可倾角生长薄膜材料，4英寸及以下晶圆和碎片
设备使用相关说明
校外：2000元/小时
院外：1800元/小时
院内：1500元/小时
院外：1800元/小时
院内：1500元/小时
预约资源
检测项目
附件下载
公告
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