应力计
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6/人使用者
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194/次机时次数
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249/小时总时长
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0/次送样次数
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9/人收藏者
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收费标准
机时200元/小时 -
设备型号
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当前状态
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管理员
魏伟伟,李佳桐 13686823192 -
放置地点
芯片加工中心二期3F
- 仪器信息
- 预约资源
- 检测项目
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名称
应力计
资产编号
20230810001
型号
规格
产地
厂家
所属品牌
出产日期
购买日期
所属单位
深圳国际量子研究院
使用性质
科研
所属分类
分析表征类
资产负责人
魏伟伟
联系电话
13686823192
联系邮箱
放置地点
芯片加工中心二期3F
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
主要规格&技术指标
样片直径：100mm(4英寸)和150mm(6英寸)
测量速度：5s（150mm样片）
应力测量范围：1~4,000MPa
测量速度：5s（150mm样片）
应力测量范围：1~4,000MPa
主要功能及特色
在硅片等基板上附膜时，由于基板和薄膜的物理定数有异，产生应力，进而引起基板变形。由涂抹均匀的薄膜引起的变形的表现为基板的翘曲，根据样片镀膜前后的表面曲率变化，可以精确的测量出薄膜应力的细微变化。
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检测项目
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