投影式激光直写机
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19/人使用者
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1161/次机时次数
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858/小时总时长
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0/次送样次数
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32/人收藏者
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收费标准
机时1000元/小时 -
设备型号
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当前状态
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管理员
贾浩,王浩宇,王国庆 15875573615 -
放置地点
芯片加工中心二期1F
- 仪器信息
- 预约资源
- 检测项目
- 附件下载
- 公告
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名称
投影式激光直写机
资产编号
mla
型号
规格
产地
厂家
所属品牌
出产日期
购买日期
所属单位
深圳国际量子研究院
使用性质
科研
所属分类
光刻类
资产负责人
贾浩 王浩宇
联系电话
15875573615
联系邮箱
wanghy@iqasz.cn
放置地点
芯片加工中心二期1F
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 设备使用相关说明
主要规格&技术指标
最大基板尺寸：8”x 8”
最小基板尺寸：5 x 5 mm²
最大写入区域：200 x 200 mm²
基板厚度：0至12 mm
干涉仪分辨率：10 nm
激光波段：375nm、405nm
最小线宽：≤1um
套刻对准精度：≤500nm
最小基板尺寸：5 x 5 mm²
最大写入区域：200 x 200 mm²
基板厚度：0至12 mm
干涉仪分辨率：10 nm
激光波段：375nm、405nm
最小线宽：≤1um
套刻对准精度：≤500nm
主要功能及特色
无掩模激光直写机-2利用激光（375nm、405nm）通过数字微镜器件（DMD）进行直写光刻，利用高精密HeNe氦氖激光干涉仪来精准的控制平台的移动，省去了繁琐的掩模加工过程，本激光直写机曝光速度有了极大的提升，且保持着较高的精度，最佳分辨率优于1.2um。相比掩模光刻，具有效率高，应用灵活等特点。
设备使用相关说明
1000/小时
预约资源
检测项目
附件下载
公告
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