台阶仪
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35/人使用者
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1001/次总次数
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1573/小时总时长
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17/人收藏者
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收费标准
机时500元/小时送样详见检测项目 -
设备型号
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当前状态
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管理员
徐妙,张颖 13612940339 -
放置地点
芯片加工中心二期3F
- 仪器信息
- 预约资源
- 检测项目
- 附件下载
- 公告
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名称
台阶仪
资产编号
19056353S
型号
规格
产地
厂家
所属品牌
出产日期
购买日期
所属单位
深圳国际量子研究院
使用性质
科研
所属分类
分析表征类
资产负责人
黄家祥
联系电话
13612940339
联系邮箱
huangjx@mail.sustech.edu.cn
放置地点
芯片加工中心二期3F
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
主要规格&技术指标
扫面时最下正压力0.03mg;
最大垂直测量范围1200微米;
Z测量重复精度5A.
最大垂直测量范围1200微米;
Z测量重复精度5A.
主要功能及特色
测量台阶高度和表面纹理，测量金属刻蚀速率的均匀性
预约资源
检测项目
附件下载
公告
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