双倾角电子束蒸发镀膜系统
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收费标准
机时800元/小时送样详见检测项目 -
设备型号
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当前状态
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管理员
邹婉静 黄家祥 -
放置地点
芯片中心一期南科大慧园3栋106
- 仪器信息
- 预约资源
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名称
双倾角电子束蒸发镀膜系统
资产编号
18043587S
型号
规格
产地
厂家
所属品牌
出产日期
购买日期
所属单位
深圳国际量子研究院
使用性质
科研
所属分类
镀膜类
资产负责人
聂利富
联系电话
联系邮箱
放置地点
芯片中心一期南科大慧园3栋106
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
- 设备使用相关说明
主要规格&技术指标
具有双腔式设计，进样腔室和电子束蒸 发源腔室通过超高真空闸板阀分隔，最 高本底真空可以达到5x10-10 Torr； 配置有四坩埚电子枪，6kW固态电源， 最高加速电压可到10kV，发射电流最大 600mA； 配置了一只考夫曼离子源KDC40，可以 进行原位的样品表面清洗和刻蚀； 最大样品直径：4英寸；
主要功能及特色
在高真空下，电子枪灯丝加热后发射热电子，被加速阳极加速，获得较大的动能轰击到的蒸发材料上，动能转化成热使蒸发材料加热气化，而实现 蒸发镀膜。通过调节电子束的功率，可以方便的控制镀膜材料的蒸发速率 ，特别是有利于高熔点以及高纯金属和化合物材料。 该设备可以进行Ti/Au/Al/Cr/SiO2/Al2O3等多种金属和氧化物材料薄膜沉积。
设备使用相关说明
样品不含Fe、Co、Ni、Mn等磁性元素；
干燥固态、薄膜。
样品直径≤4英寸（101.6mm）
干燥固态、薄膜。
样品直径≤4英寸（101.6mm）
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