扫描电子显微镜
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35/人使用者
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1425/次总次数
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3848/小时总时长
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18/人收藏者
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收费标准
机时600元/小时送样详见检测项目 -
设备型号
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当前状态
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管理员
魏伟伟,徐妙 -
放置地点
芯片加工中心二期1F
- 仪器信息
- 预约资源
- 检测项目
- 附件下载
- 公告
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名称
扫描电子显微镜
资产编号
S2008984
型号
规格
产地
厂家
所属品牌
出产日期
购买日期
所属单位
深圳国际量子研究院
使用性质
科研
所属分类
分析表征类
资产负责人
魏伟伟
联系电话
联系邮箱
放置地点
芯片加工中心二期1F
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
主要规格&技术指标
最大视野范围：50 mm
可装载最大样品尺寸：直径250 mm，高度50 mm
加速电压：0.02 kV - 30 kV
放大倍率：12倍 – 200万倍
二次电子分辨率：≤0.7 nm@15 kV, ≤1.2 nm@30 kV
样品图移动范围：X轴：130 mm; Y 轴：130 mm；Z轴：50 mm
样品最大倾斜角度：70°
电子束最大位移量：200 μm
可装载最大样品尺寸：直径250 mm，高度50 mm
加速电压：0.02 kV - 30 kV
放大倍率：12倍 – 200万倍
二次电子分辨率：≤0.7 nm@15 kV, ≤1.2 nm@30 kV
样品图移动范围：X轴：130 mm; Y 轴：130 mm；Z轴：50 mm
样品最大倾斜角度：70°
电子束最大位移量：200 μm
主要功能及特色
InLense SE：高分辨二次电子探测器，可用于高分辨形貌观察；
ET-SE：样品室内二次电子探测器，可用于样品表面微观区域的结构观察；
aBSD: 样品室内可抽拉式六分割背散射电子探测器，可用于样品成分衬度观察；
牛津能谱仪系统(EDX): 可对能量谱图进行分析，得到样品的元素成分与含量；
阴极荧光光谱仪(CL): 激发波长为270 - 900 nm，对材料的发光特性开展定性定量研究
ET-SE：样品室内二次电子探测器，可用于样品表面微观区域的结构观察；
aBSD: 样品室内可抽拉式六分割背散射电子探测器，可用于样品成分衬度观察；
牛津能谱仪系统(EDX): 可对能量谱图进行分析，得到样品的元素成分与含量；
阴极荧光光谱仪(CL): 激发波长为270 - 900 nm，对材料的发光特性开展定性定量研究
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